參考信息

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高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極廣，無論是藥物分析實(shí)驗(yàn)室亦或是硅芯片制造廠，都需要使用高質(zhì)量高純度氣體。如在半導(dǎo)體工業(yè)，高純氮，氫，氬，氦可作為載氣，保護(hù)氣和配制混合氣的氣體來源。

Ellutia高純氣/特氣分析儀可提供一整套氣體混合物的分析方法，檢測(cè)限可達(dá)ppb級(jí)（<50ppb），既可用于檢測(cè)常見的He、H2，Ar，N2，CO2中的微量雜質(zhì)，還可分析特種氣體如HCL，SiH4，BCL3，N2O,CF4等。根據(jù)不同應(yīng)用要求，實(shí)現(xiàn)客戶化定制。

產(chǎn)品特點(diǎn)
實(shí)現(xiàn)多種氣體高靈敏度檢測(cè)
氦氣吹掃，避免與空氣接觸所引起的外界污染
精密防泄露裝置，避免潛在污染
配備高純氣吸氣劑，去除微量雜質(zhì)
尺寸規(guī)格小，不占據(jù)實(shí)驗(yàn)室空間

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